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利定東 教授　Li Ting Tung 辦公室： (Office) E2-204 專線電話： (Tel) x 校內分機： (Campus Extension) x 傳真電話: (Fax) 03-4254501 E-mail： tomili@ncu.edu.tw

研究計畫 (Research Projects)

工作類別 姓名 計畫名稱 執行期限 補助單位 金額 產學合作 利定東教授(共同主持人) 非對稱雙極脈衝DC濺鍍電源參數實驗設計對AlN薄膜品質最佳化 2021-05-01 ~ 2022-04-30 台達電子工業股份有限公司 1,000,000 產學合作 利定東教授(共同主持人) 非對稱雙極脈衝DC濺鍍成長AlN薄膜製程開發 2019-10-01 ~ 2020-09-30 台達電子工業股份有限公司 1,000,000 產學合作 利定東教授(共同主持人) 非對稱雙極脈衝DC濺鍍成長AlN薄膜製程開發 2018-10-01 ~ 2019-09-30 台達電子工業股份有限公司 1,000,000 產學合作 利定東教授(計畫主持人) 以電漿光放射光譜端點偵測調校驗證RF-PECVD之射頻必v源與自動匹配器 2017-09-01 ~ 2018-08-31 台達電子工業股份有限公司 2,000,000 科技部計畫 利定東教授(共同主持人) 下世代3DIC兆聲波濕式清潔關鍵技術 2015-11-01 ~ 2016-10-31 科技部 1,514,000 產學合作 利定東教授(共同主持人) 以即時製程監控關鍵技術進行電漿輔助化學氣相沉積設備開發及製程最佳化 2015-06-01 ~ 2016-05-31 馗鼎奈米科技股份有限公司 1,320,000 科技部計畫 利定東(共同主持人) MOCVD關鍵零組件技術開發暨人才培育 2015-01-01 ~ 2016-03-31 科技部 12,000,000 科技部計畫 利定東教授(共同主持人) 綠色光源模組及應用系統之技術服務平台 2015-02-01 ~ 2016-01-31 科技部 2,150,000 科技部計畫 利定東教授(共同主持人) 提升白光OLED性能之創新元件設計與製程技術研發 2015-01-01 ~ 2015-12-31 科技部 9,454,000 產學合作 利定東(計畫主持人) 多晶碳化矽生長與應用 2015-01-27 ~ 2015-12-30 中山科學研究院 600,000

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